一、制绒的目的. 去除机械损伤层——主要来自原片切割过程中的表面损伤; 增加电池片表面面积——为扩散增加制结面积准备; 陷光原理——大大降低电池片表面反射率; 去除杂质——hf可以去除电池片表面油污
本项目使用单晶制绒机在硅片表面制作绒面结构,主要目的是减少表面反射,增加内部光子吸收,提高电池的光电转换效率。制绒机中依次包括粗抛、预清洗、纯水洗、碱制绒、纯水洗、酸洗、纯水洗等模块。
1.2 制绒则是利用低浓度碱对硅片表面进行腐蚀反应,因为晶体各个晶面腐蚀速率不同,<111>最高慢,110以及100面会被腐蚀掉,最高终形成以<111>面的金字塔结构。
采用两步法制作绒面,先用高浓度碱液、较高温度下进行短时间"粗抛",再在低浓度、低温度下进行长时间"细腐"。 此法所制绒面,在晶相显微镜下观察,小金字塔排列规则、
电池片工艺流程共分为7步: 第一名步:制绒 (INTEX) 第二步: 扩散 (DIFF) 第三步: 后清洗 (刻边/去PSG) 第四步: 镀减反射膜 (PECVD) 第五步: 丝网、烧结 (PRINTER) 第六
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